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验证主计划（VMP）
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设施设备确认
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运输验证
通过对半导体元件的电性量测，可以验证其参数及特性，例如电压-电流、电容-电压特性曲线、电阻、电容等，借此以推测元件可能的故障原因，并决定后续的测试方案。 常用设备：I/V、TLP
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